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process pitch(间距)修改的疑问

时间:10-02 整理:3721RD 点击:

我们之前使用某foundry 180nm 工艺,2P6M的设计规则,工艺文件中的pitch定义如下:
M1 pitch 0.56u
M2 pitch 0.56u
M3 pitch 0.56u
M4 pitch 0.56u
M5 pitch 0.56u (tech lef:1.12u)
M6 pitch 0.95u (tech lef: 1.12u)
但是我们工具读入的规则,M2 pitch为0.66u,M4 pitch为0.66u , 读入后发现 某些cell,产生了drc问题,具体是相邻的pin由M1跳到M2的时候,在M2间距 < 0.66u;
所以我们打算对工具读入的规则中的pitch进行更改:M2 0.66u --> 0.56u
M40.66u --> 0.56u
M50.56u --> 1.12u
M60.95u --> 1.12u
不知道这种更改可不可行呢?会不会影响寄生参数提取?

请问这个问题后来怎么样了啊?
pitch修改后对寄生参数跟drc影响大吗

实际pitch还是按照 foundry的工艺文件修改的;已经投片生产,目前没发现什么问题

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