为什么高层金属寄生电阻小

是不是工艺决定了 高层线宽且pitch大?

跟设计选择的工艺相关，每个工艺有不同厚度的金属层可以选择。
低层金属层厚度比较小，方块电阻比较大。高层金属层可以选择厚度比较大的，方块电阻相对比较小。