itf文件问题
时间：10-02
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请问itf文件中如何知道metal层是如何嵌入氧化层的?
DIELECTRIC IMD8d {THICKNESS=3.25ER=4 }
DIELECTRIC IMD8c {THICKNESS=0.12ER=7 }
DIELECTRIC IMD8b2 {THICKNESS=0.03ER=4 }
CONDUCTORmetal8 {CRT1=0.00385 CRT2=8.58e-07 THICKNESS=3.40WMIN=1.50 SMIN=1.50 RPSQ=0.00496 RESISTIVE_ONLY_ETCH=0.0667 }
DIELECTRIC IMD8b1 {THICKNESS=0.68ER=4 }
DIELECTRIC IMD8a{THICKNESS=0.075ER=7 }
例如上面的语句，是否是IMD8d，IMD8c，IMD8b2,metal8,IMD8b1,IMD8a按顺序长上去，还是IMD8d,IMD8c,IMD8b2和metal8在一层?因为IMD8d,IMD8c,IMD8b2的总层厚刚好和metal8一样，而金属层事实上是金属与氧化物混在一起的。
DIELECTRIC IMD8d {THICKNESS=3.25ER=4 }
DIELECTRIC IMD8c {THICKNESS=0.12ER=7 }
DIELECTRIC IMD8b2 {THICKNESS=0.03ER=4 }
CONDUCTORmetal8 {CRT1=0.00385 CRT2=8.58e-07 THICKNESS=3.40WMIN=1.50 SMIN=1.50 RPSQ=0.00496 RESISTIVE_ONLY_ETCH=0.0667 }
DIELECTRIC IMD8b1 {THICKNESS=0.68ER=4 }
DIELECTRIC IMD8a{THICKNESS=0.075ER=7 }
例如上面的语句，是否是IMD8d，IMD8c，IMD8b2,metal8,IMD8b1,IMD8a按顺序长上去，还是IMD8d,IMD8c,IMD8b2和metal8在一层?因为IMD8d,IMD8c,IMD8b2的总层厚刚好和metal8一样，而金属层事实上是金属与氧化物混在一起的。
后者
itf中计算layer的基准是下层的dielectric layer