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多少纳米以下需要考虑栅对齐?IP不能90翻转?

时间:10-02 整理:3721RD 点击:
多少纳米以下需要考虑栅对齐?IP不能90翻转?

TSMC是28开始有这个要求

学习了

学习了!谢谢!

栅对齐是否是栅方向的一致性?
工艺越是精细化,约束越是苛刻,很多模拟后端的技巧就会被嫁接过来,对栅的一致性、filler cell的选取,等等都有很高的要求,不然会影响刻蚀效果和管子性能;

要求这么多,苦了这些设计师啊!

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