做MASK的时候PLDD与NLDD层的算法大概是什么样的?
时间:10-02
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请教一下论坛里的大侠们,在5V工艺里面,PLDD,NLDD层次的具体作用是什么,做MASK的时候大概算法是什么样的?因为每次做JDV的时候只知道这两层是运算出来的,但是每次都不知道具体怎么操作的,很纠结
看tooling上有没有公式,如果没有的话估计是保密的。
谢谢你的回复,他们的文件上面没有给公式,所以我才想问问大侠们知不知道大概的算法。那PLDD,NLDD层作用是什么呢?是每个工艺里面都有这两层吗?
PLDD, NLDD 是降hot carrier用的,有些工藝有,有些沒有,視狀況而定
NLDD &PLDD 不光光是PPLUS NPLUS 做出来的用来降低hot carrier 用的。在有的高压工艺上有单独的这两层,用来降低漏断的漂移区
我现在用的是40VBCD工艺,看JDV上的信息NLDD层是在高压NMOS管上面有,而PLDD层是在低压的有pickup的地方有,很奇怪,无法理解
light drain doping吧,减少什么效应的, 基本都有这2层,
而且还有PLH, NLH, 高压LDD,
smic就是NLL,PLL, PLH, NLH ,具体公式可以看tapeout form里面的mt form公式运算,
很复杂,
参考高压LDMOS的设计方法
thanks