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关于mask文档的问题

时间:10-02 整理:3721RD 点击:



上面图片的地第五,八,十列怎么理解?望知道的人能够详细说明一下。谢谢啊!

是 DARK CLEAR掩模板上的明区和暗区。 clear 是透光的,dark 区涂了铬不透光。clear区域,会被曝光,光刻胶(正胶)的溶解性发生改变,可以被洗去。就可以得到图形。

就在这个图片里能看出是用正胶还是反胶吗?

就clear,dark那些可以看出来。

一楼说的比较清楚

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