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Design rule中层次的clear和dark是什么意思

时间:10-02 整理:3721RD 点击:
这两种不同表现在什么地方

两种掩膜板(mask),正刻和反刻

楼上 正解!

那么更具体一些,正刻和反刻的区别在哪里呢?

正刻是刻除,反刻是补充。

正版刻蚀掉图形区域,反版刻蚀掉图形以外的部分

job view 時,看的的是正或反,如 Metal 是 dark ,則job view 時會看到 layout metal drawing 的地方是白的,沒畫的地方是黑的。反之 contact 是clear ,Job view 時layout contact drawing 的地方會是黑的,沒畫的是白的

解释很清晰,自己也今天才算是准确明白。

这个在哪个design rule doc能查到?

在PDK中使用设计规则手册,也许这是描述性的

另一個說法在製造過程中 , 光阻會留下的就是 dark 如一般的 metal 光阻
保護要留下的部分 , 把其他的metal 都蝕刻掉 , 那就是 dark
反之則是 clear , 除非 要把 dark 和 clear 做在同一mask 就要比較注意.
一般只要按照晶圓廠的流程即可.

亮场,暗场

正解

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