有关STI与WPE技术的问题?
时间:10-02
整理:3721RD
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1,请问STI技术会对一块阱上的有源器件做整体刻曹隔离,还是会对每个有源器件做刻槽隔离?还是把一块AA认成一个整体,再做隔离?
2,对于非deepnwell工艺,n腔都坐在一个p阱上,那WPE效应对N腔影响是不是很小?
2,对于非deepnwell工艺,n腔都坐在一个p阱上,那WPE效应对N腔影响是不是很小?
没人回答么?
这里有几篇文章都有很好的相关介绍
http://www.360doc.com/content/11/0314/15/6353250_101022077.shtml
http://blog.sina.com.cn/s/blog_7a9e7681010167t1.html
STI指的是没有AA的地方,这个AA不仅仅是指layout里的AA 而是完全没有任何注入的地方。
WPE 主要是井注入的问题,不仅仅指P井 nwell注入也会有这个效应。
In process , STI is used to replace LOCOS process.
WPE effect will affect Vth for nmos and pmos.
谢谢小编分享
学习了