请问加slot之后电流能力会有什么变化?
时间:10-02
整理:3721RD
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遇到需要走大电流的宽metal一般都要挖slot,应该是因为电流的趋肤效应CCE,这样可以增加电流的通过能力。如果本来有一根宽度为5的metal,如果中间加了slot之后,metal的实际宽度是不是应该减去slot的宽度比如说变成4.5了,他的电流通过能力是大于宽度为5的metal还是说是介于4.5和5之间?
这个情况比较复杂,你可以不用理会,正常fab的rule会有很大的余量,即使电流密度稍稍差一点儿不会影响到你的工作可靠性。
只是用IR drop tool run 下好了.
挖slot是process的考虑,CMP会dishing ,中间的metal 会薄,反而会有可靠性的问题,slot会增强可靠性而不是减弱。
挖slot和skin effect没有关系
slot是为了避免大块金属的应力和process中的某些问题,如cmp时过度刻蚀等问题
学习了