smic eeprom 的工艺层次含义求指导
时间：10-02
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小弟刚入手smic018 eeprom的工艺。其中TOW 和ONO两层次，不知道其作用。求高手指导。如果有剖面图说明层次结构，那就再好不过了。谢谢！
ONO (OXIDE NITRIDE OXIDE)氧化层-氮化层-氧化层 半导体组件，常以ONO三层结构做为介电质
TOWDefine Tunnel Oxide Window Open
不看工艺文件啊