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请问什么是PSE什么是OSE

时间:10-02 整理:3721RD 点击:
查到PSE是poly spacing effectsOSE是Oxide Spacing effects
但是依然不是很理解具体是怎样的效应
不知道有没有高手可以帮我讲解一下具体是怎样的情况

PSE、OSE 包括WPE 都可以理解为边缘器件的参数mismatch,一组器件放在一起,边缘器件的参数和性能相比中间器件会差很多,解决办法就是边缘添加dummy。

能不能具体讲一下是什么原理呢?谢谢


如图中所示,Gate A与GateB 周围POLY环境的不同便会导致PSE,65nm以下工艺,A和B参数差别会很大,加C作为DUMMY之后,B
和A周围POLY环境基本一致,参数也会较为接近。OSE原理也相近。
其实可以理解为扩散、注入等过程中,边缘浓度与中间会有很大的差别,所以需要周围加足够多的dummy,加的越多,中间器件的差别自然越小。

可以看下tsmc45nm的设计规则,讲的很详细。慢慢看去吧。

design rule 都有

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