衬底外延层
时间:10-02
整理:3721RD
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在《模拟电路版图的艺术》书中写到,CMOS工艺的第一步是在衬底上生长一层清掺杂的P型外延层。我的问题是,为了节约成本,有些工艺直接在衬底上做器件,如果需要外延层,是要单独加费用吗?还是该费用一起算在wafer的的费用上的?
外延可以采用改变衬底的掺杂浓度,降低衬底的导通电阻