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MPW各家不同metal层数之间的影响?

时间:10-02 整理:3721RD 点击:
我最近也遇到一个问题,在MPW时各家有不同metal层数,我们的metal层数少于别家的,我们5层metal,别家8层。这牵涉到一个top metal 厚度的问题,和顶层metal到次顶层 metal 的 via 深度的问题,这是我的困惑,能帮我解答下吗?

MPW是说多家共用一套mask,而不是一片wafer。mask只需要保证自己所有的层次是对的就ok。
最终流片的时候只需要选择特定客户对应的mask去做光罩就好了,当然每一片wafer上必然包含其他家客户的部分数据,如果是不同的metal/topmetal/option就废弃,如果可以共用,则一起划片。
至于lz所想的问题,根本不存在。
不可能是metal4以上,别家metal567长上去,你这边是空白,最终topmetal两家一起wafer out。如果是metal8的flow,你metal567没有数据还会有dummy填充不然不利于别人flow中工艺控制。如果是你metal5的flow,metal4以上直接topmetal,其他家数据部分直接放弃。

前几天也在想这个问题 ,工厂是什么方式解决的

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