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报给封装厂的pad size是指哪个?

时间:10-02 整理:3721RD 点击:
是pad 金属块的尺寸还是pad open(钝化层开口)的尺寸?PDK中调了一个75x75的pad,测量金属块确实75x75,但是pad open只有70x70.
这两个数据以哪个为准呢?

应该是opening size:70X70
这个开窗与两层metal之间的via类似,metal画到75X75,即在opening周围metal会extention 2.5um左右,就像我们画via的时候metal不会四边都刚好与via切齐,原因一是载流子的横向运动,二是保证via与metal充分的接触。
个人观点!

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