关于Design rule中digital tone?
时间:10-02
整理:3721RD
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Design rule中遇到个词digital tone是什么意思呢?还有它分为两种clear 和dark又代表什么呢?请指教,谢谢!
digital tone你可以理解为制版的区域吧,具体也不好解释。
clear,就是你画的图形是什么,它就或注入或淀积形成你画的形状。
dark,是在全wafer上形成需要的材料,再刻蚀或去掉多余的部分,剩下的是你需要的形状。
个人理解,欢迎指教。
clear的区域没有数据,dark的区域你需要按照设计规则上的要求画,比如有哪些层次,每个层次的宽度等
Layout数据会拿到掩模工厂,掩模工厂会将layout数据进行再处理,也就是Data processing,
做成掩模,然后拿到代工场进行芯片制造。
利用掩模工序时有些层显影之后是留下的称dark,有些层显影之后是去除的为clear.
做后端的建议多学习一点制程方面知识,会很受益哦
Thanks!
多谢!是应该多了解了解制程了!
thanks