scribe lane里面有什么东西啊,还是空的?
时间:10-02
整理:3721RD
点击:
scribe lane里面有什么东西啊,还是空的?
是scribe line 吧,划片道,用来切割芯片的
我知道是切片用的。
里面是空的,没有什麽metal pattern, p+ n+之类的layout pattern吗?
里面不是空的,有一些测试wafer的东西是放在scribe line 里面的
楼上正解。
有SealRing和测试Buffer在ScribeLine中
ls,sealring不属于scribeline额。
一般说来,scribeline要放置一部分光刻对准标记,给光刻机台用的,一般所有层次都会有。
还会放置一些CD测量图形,CD较大的层次比如cover可能没有。
还有一部分是testkey,用来测试器件性能的。
还有么,一般OD会铺满或者有dummy,PP一般会全部覆盖(和sealring的pp连在一起),可能还有其他乱七八糟的层次,一般这块是不用看的,出了问题也是fab负责。