GF14金属问题
时间：10-02
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为什么M1-M5有M_E1，M_E2.工艺上区别是什么?
M_E1 M_E2是指第一次曝光和第二次曝光的金属
这个是14nm或者更先进的工艺么
工艺上用途是什么呢?怎么区分的呢?
主要是14nm下面metal间距很小，需要分两次才能做成。这个只是为了工艺上做的，在layout时候没有分别。
以上是个人见解
同意5楼说法。16nm之后的金属就需要两次曝光