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请教个问题,我们说的前道和后道尺寸分别指什么

时间:10-02 整理:3721RD 点击:
请教个问题,我们说的前道和后道尺寸分别指什么?具体指哪个尺寸?比如前道0.5后道0.35谢谢指教

看不懂 你的問題是 W/L
中的 W 和 L 嗎 ?

front end最小线宽0.5,back end最小线宽0.35吧

谢谢。我问了一个同事,得到答案了。前道就是指contact之前的工艺,con之后的工艺就是后道。有时候为了一些目的会把两个不同的工艺合起来就有了前道后道的区分。

是的,不过不同的工艺数据应该不一样吧

front end晶體管閘極minmum width=0.5;back end晶體管閘極minmum width=0.35

求解0.5 和 0.35具体指哪个值?谢谢

MOS gate width

應該是 L

特征尺寸,在某个工艺中所得达到的最小尺寸。一般front-end为poly的最小尺寸,back-end为metal或者contact等等的最小尺寸,
反正哪个层次的最小宽度最小,其值就作为特征尺寸,不同工艺的值对应的值不同,对应的层次也可能不同。



應該說是指特徵尺寸,指半导体器件中的最小尺寸。最小的尺寸即是线条的最小宽度,线宽其实是作为栅极的多晶硅的宽度,也就是晶体管的沟道长度。所以說front end & back end中尺寸均是指MOS管的溝道長度L。希望對你有用。

谢谢解惑

谢谢回答,刚刚看了楼上和你的回答。好像有一点不一样之处,迷惑了

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