请问金属层密度的影响

请教各位，如果版图中的金属密度过大，在工艺上有何不良影响?如果过小呢?
我用的工艺要求密度大于30%小于50%，现在因为filler和dummy金属放的比较多，密度达到62%。不知道是不是有必要去掉?

按照工艺的要求来比较稳妥哈，

我记得公司会给你们提供dummy insertion的script,Ran一下就好了吧?没必要自己添加

一方面是fab没有提供，另一方面是即使有我们的工具也不支持，再一方面是我们自己在设计上考虑了更多的噪声屏蔽和信号隔离.

直接跟工艺厂沟通就好了撒

昨天比较晚了，所以就先上论坛问问。今天和foundry沟通过了，表示可能存在腐蚀不足或过腐蚀的问题。所以还是follow工艺厂要求比较好。，

你这个metal density window怎么这么小，tsmc就是 20%~80%
metal density 会影响metal 的厚度，density越高，metal越薄
metal不uniform也会有yield问题
如果用foundry的tool做dummy filler 应该不会有density问题吧

呵呵，工艺烂呗~

请问你是如何看出自己的金属密度这么准确的值?

drc的时候会输出的。