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drc检查提示off grid

时间:10-02 整理:3721RD 点击:
请教大家一个问题:最近画版图,做drc时发现提示接触孔层有off grid的问题。
这种问题对于foundry来说重要吗?

不重要,一般都是忽略的

一般都是忽略的,不过尽量不要off grid

最好能保证在grid也就是栅格上,这样可以保证后续的mask制作精确度。

如果严格来说,必须保证图像边缘在grid上。

对stream out会有一定影响吧

重要。要保证在grid也就是栅格上.
也许决定chip的成功与否。

看代工厂的layout最小Grid是多少了

不是致命问题,单最好是不要有off grid

它会将不在grid上的层拉到grid上!这样可能会出现drc错误,这要看你间距够不够了!

上面说的是在mask制作时的

MASK的精度不一样,格点不一样

"off-grid" is a very "serious" problem, specially for Deep-Sub-Microm process.
It will cause DRC violations and when you make the mask, it will (sometimes) require different grade of mask material and increase your manufacturing cost.

off manufacturing grid ( that is offgrid in calibre drc check ) is a real DRC error ,
should fix ,
since sometimes the offgrid error is not important if it have large space or not result in
shorts or open , but it can results in shorts or open case ,
so please fix it !
in icfb :snap to grid in option before StreamOut

foundry一般留了20%餘量,不會有問題,但是最好還是清掉吧,很簡單花不了多少時間。

drc错误还是需要清理的,除非你和foundry确认

很重要,最好是把OFFGRID 错误清除掉

接触孔还从来没遇到过offgrid额。不过这错得清吧。除非foundry同意。

看FAB的要求了。

请教, 大侠有没有实际见过由于off grid出问题的情况,如果有问题会出现什么样的问题?


流片失败

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