关于5vMOS做ESD的相关问题

最近在做TOP，连接Pad的ESD用的是5vMOS管做的，我师父让我把管子做了修改，在gate和drain之间的区域用RPO（Resistance Protect Oxide）层覆盖，不太清楚这样做的具体目的是什么，求高手指点……

工艺上增大区间的阻值，保护管子的作用，防止电流过大击穿

SAB层，防金属化工艺。

做ESD的，防止电流过大倒是对的。那这个层是什么材料呢?不太明白怎么改变阻值的?

不好意思本人新手，不太明白SAB层是指的什么?

一般工艺制造过程，都会在poly和diff上生长金属硅化物之类的物质来减小阻值，叫salicide，你可以查查这个salicide和polycide。那个层次可以阻挡金属硅化物的生成，从而加大阻值。

学习了

明白了明白了，非常感谢！

非常正确，。

台湾的柯教授有一篇关于ESD的文章上面写得很详细，自己去查一查