器件dummy如何处理?
(1)dummy器件的一极与有用器件(多个finger)的一极重合,其他三极怎么接,特别是dummy的衬底?
(2)如果dummy器件的一极不和有用器件(多个finger)的一极重合,这样dummy的poly到有用器件的最外的poly的距离与有用器件的之间的poly距离就不一致,网上说会导致刻蚀误差,但是这样的dummy的四端连接好处理。
基于上面两种做法的矛盾,不知道怎么去处理?望路过的高手指点?先谢谢了...
个人觉得第一种好,DUMMY与旁边器件是合并共用源/漏的的吧,那么DUMMY三端(G、D、S)都连到合并的那一极上,DUMMY肯定和器件同类型管子撒,那么衬底也就是一样的了噢。
第二种情况是会导致刻蚀误差,因为间距不同,但这种有时方便连线,尤其是在MOS管长度很小的情况下。
你好!针对你说的第一种好。如果是合并的那一极都是接电源,那很好。如果不是呢?那就相当于dummy器件的G ,D,S三端接在一定电压上,衬底接到电源上(一般衬底都是接电源吧,我这么认为的),那这样是不是不安全呢?
你说的情况,MOS管就算开启没有电流流过,S、D电压相同,做电容也不是,所以就是一个DUMMY了。
恩,明白了。非常感谢你的回答。希望有机会多多交流。
这样的接法会增加信号的寄生。需要match的mos做成mult好一点。
Dummy用source与有用管重合。 D,G都接到S上保证管子永远处于关闭状态。
这个要看加的是什么电路的dmy.如果给差分对加dmy,那么共享common端,应该差分对的source 是低阻节点。(dmy的加入会引入寄生,所以可以选择的情况下加在低阻节点上)。另一种情况是给current source 加dmy, 此时dmy的gate可以接在电流源的bias上,源漏接电源或地,这样dmy相当于耦合电容,而不是完全没有功能的管子。
接 gnd
对于你说的第一种情况:给差分加dummy,是接低阻端(我不知道你为啥要说低阻端,是为防止该电阻和dummy组成一个低通滤波器吗?)可如果当差分管子的finger为奇数时,差分管一般都是公共source端,那么dummy只能和差分管的drain端重合,没法做到你说的和低阻端相接。不知道我这样理解对不对?
对MOS,四端接一起,如果不能,则三端接一起。刻蚀窗口不一样,刻蚀速率不一样,刻蚀窗口大,刻蚀就快,容易过刻蚀。周围加dummy的作用之一就是防止最外围的MOS过刻蚀。
膜拜大神啊
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