求工艺方面的

给fab厂的gds到mask这一步有一个check文件，文件中有layer Number/Name,CAD Bias/Logical Operation
Logical Operation：各layer的逻辑运算，
例：M5 ...（sizing -0.005)
M6... (sizing 0.005)
为什么有的metal要涨size（只看到Top metal是涨），有的metal要缩size,所有的metal不是同涨或者缩的么

logie operation table啊，就这样啊，fab就是这么生产的

EB table 中写的吧，其他layer有size up，size down很正常，metal很少见，不过是切合工艺的制造的。