关于layout dependent effect
时间:10-02
整理:3721RD
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各位大神,有没有layout dependent effect(LDE)的资料啊?LDE主要有哪些啊?
现在只是看到一篇论文上说,LDE有STI应力效应、多晶硅间距效应、边缘效应、阱临近效应,这些效应会对电路产生影响。
除了这几种之外,LDE还有哪些?
另外也想知道LDE会对电路的哪些性能造成影响?
不知道谁做过这方面的,麻烦指点迷津。谢谢啊!
现在只是看到一篇论文上说,LDE有STI应力效应、多晶硅间距效应、边缘效应、阱临近效应,这些效应会对电路产生影响。
除了这几种之外,LDE还有哪些?
另外也想知道LDE会对电路的哪些性能造成影响?
不知道谁做过这方面的,麻烦指点迷津。谢谢啊!
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