via space 2X2 到4X4 以上space就要加大
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1 via space 2x2假如是0.2,4x4以上 designrule 上就是0.25了,请问这是工艺的要求(矩阵大有可以打通之外),其他工艺上的原因是什么?2 宽金属space 是考虑金属的延展性还有其他什么原因?
via area 過大,會導致蝕刻過度,所以Spacing 要拉大