spice model metal sheet resistance

Hi 各位前辈，小弟在看spice model 文件的时候遇到了一个问题，比如metal 1的sheet resistance，model file里有三种情况：Metal 1 with w/s = 0.09/0.45
subckt
rsh = r_rm1l
....
end
Metal 1 with w/s = 0.09/0.09
subckt
rsh = r_rm1s
end
Metal 1 with w/s = 0.27/0.135
subckt
rsh = r_rm1w
end
r_rm1l r_rm1s r_rm1w三个参数的值不一样。求问这是什么情况?

這要問給你檔案的人
我猜
當 Metal 1 with w/s = 0.09/0.45
rsh = r_rm1l
----------
subckt
rsh = r_rm1l
....
end
用不同 w/s 套不同名稱