metal cap写法求助？

我想做m1和m1间的插值电容MCAPX1，上极板MTP1使用DUM1和M1识别，下级板MTN1使用DUM和M1识别，电容识别layer MTL1：DUM1 AND DUM; m2和m2间的插值电容MCAPX2，上极板MTP2使用DUM2和M2识别，下级板MTN1使用DUM和M2识别，电容识别layer MTL2：DUM1 AND DUM;m1m2叠加在一起与m1m2叠加在一起间的电容MCAPX102，上级MTP102：DUM1，DUM2和M1，M2 ，下级MTN102：M1 M2 DUM。

我的编写可以识别MCAPX1和MCAPX2 ，但识别MCAPX102总有问题，请大家帮忙看看吧，不甚感激，谢谢！编写如下：

1） MTP1=（metal1 AND DUM1）NOT DUM ,MTN1=(metal1 AND DUM) NOT DUM1 ,MTL1=DUM1 AND DUM

2） MTP2=（metal2 AND DUM2）NOT DUM ,MTN2=(metal2 AND DUM) NOT DUM2 ,MTL2=DUM2 AND DUM
3） MTP102=（（metal1 AND metal2）AND DUM2 ）NOT DUM ,MTN1=（(metal1 AND metal2 ）AND DUM) NOT DUM2 ,MTL102=（DUM2 AND DUM） INTERACT ( metal1 AND metal2)
请大家帮帮忙，电容MCAPX102一直无法突破，总是会认到MCAPX2，谢谢！感激不尽！附图如下所示

你是不是考虑一下上下基板用不同的识别层试试

我就是想用DUM2和DUM两层辅助来区分MCAPX2和MCAPX102，但就是不成功！您有么有办法比如说：DUM2i=DUM1 AND DUM2当做一个新的层次配合DUM来识别MCAPX102，我这样做也不行。不知道怎么能让DUM2i和DUM2一样使用 谢谢答复！

我不是十分清楚你第三种电容的结构，但是感觉你应该再增加一层标识层用于第三种电容，比如dum3。否则软件从第三种电容里面也可能提取出第一或者第二种电容。

如果按你现在的写法，好像看起来你的第三种电容就是第二种嘛

有第二种的成分我想问问您知道 怎么让两种层次运算后变成一个完全新的层次。比如：DUM1和DUM2 运算后就是一个完全新的层次，就像TF中新的一层一样。谢谢！

你说的我试过不行！因为添加了，他会辨认第一种和第二种cap 谢谢

而且第三种电容里面不能再用第一种和第二种电容用过的标识层

2） MTP2=（metal2 AND DUM2）NOT DUM ,MTN2=(metal2 AND DUM) NOT DUM2 ,MTL2=DUM2 AND DUM
==>MTP2=((metal2 NOT metal1) AND DUM2) NOT DUM , MTN2=((metal2 NOT metal1) AND DUM) NOT DUM2
你试试看，我也不知道是否可行

MCAPX1和MCAPX2可以用相同的两层dummy，MCAP102必须和前面的两层DUMMY不同，不然永远是器件重复定义。

请问你的问题解决了吗?你用是什么工艺，我现在用的SMIC11的，画了metal cap ,不知道怎么定义识别层，layout 过不了，请教一下，这个你会吗，请不吝赐教~