什么是自对准工艺？

...大富人啊，自对准就是先做POLY，再做注入，这样注入的时候POLY可以作为阻挡层挡住注入，POLY下面的栅氧就不会被注入到了。

自对准就是不用特殊的光罩，而是利用工艺中某些因素的特殊作用起到光罩的作用。

但是还是会出现一点点横向扩散哈只不过侧壁的那个电容不如原来铝栅大哈~

栅漏 栅源对准

http://bbs.eetop.cn/viewthread.php?tid=381045&highlight=%D7%D4%B6%D4%D7%BC 5楼有解