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layout 問題

时间:10-02 整理:3721RD 点击:
請問layout的時候哪些地方需要特別平坦化?
那平坦化的時候需要注意甚麼?

density

不解你的問題
是cell 結構 hier or flat
ㄉ 平坦化
或是 晶圓得平坦化

晶圓的平坦化

1.CMP 製程 直接磨平
2.layout 部分 盡量
M1 3 5 橫線 M2 4 6 直線 交叉擺, 不要一路疊
Via 不要 12345 都疊一起 交叉擺 會比較平坦

平坦化主要是 FOUNDRY 在做。LAYOUT 主要保证 版图密度达到要求。

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