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问一个基本问题:Mos电路为什么要进行场区隔离,比如Locos

时间:10-02 整理:3721RD 点击:
P型衬底上的两个N管将两个管子隔开一段距离,而间隔不加场氧。这会有什么影响啊,是会有漏电吗?

谢谢小编!

说明白点啊

fox oxide比较厚,不易反型,防止poly、metal走线使得寄生device导通而造成漏电,LZ是这个意思吧?

不客气

我想问的就是场氧的作用,谢谢

我就是想问下场氧的作用 谢谢

不加场氧会有寄生的管子且寄生管子的阈值很低容易导通,会有漏电产生!

金属1如果跨过有源区,但是又没有场氧的话,金属会“变成”栅,然后会产生寄生晶体管,影响电路功能。而场氧的厚度会保证这些寄生晶体管的阈值为几个伏特,一般来说没有问题。但在高压区域就不行了,所以一般工艺会禁止在高压区域走金属一。

谢谢你的回答,很在理



学习了!

长知识了。

这是因为要注入,除了要光刻出区域还要加多一个场区来划分
工艺制作的需要,已经不单纯是原理了

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