工艺线上在每做一层metal都会进行一次去静电的处理
时间:10-02
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如题: 工艺上在每做一层metal都会进行一次去静电的处理吗?这是不是就是解决可以天线用跳线的原因。求大神,确定有没有放电处理!
有,听说有照紫外线,应该还有其它方法,但是具体的我就不知道了。
我听同事说的也是没做一层金属就去一层静电的
也有这方面的疑问,是不是湿法刻蚀的时候就已经把静电释放掉了?
是的,这就是为什么可以使用跳线来解决天线效应的原因,如果不做这个处理,那金属线上的电荷就会一直存在,直到形成泄放通路。
据说是只有有部洗片的工序,这道工序把片子上积累的电荷干掉了
我有个同学在某fundry,说没有这个步骤的当然不同的工艺不一样吧
到底是有没有呢?
有人能给个肯定的答案不啊!
有,听说有照紫外线,应该还有其它方法,但是具体的我就不知道了