请教,smic工艺native管子是不是不用加额外的mask?
时间:12-12
整理:3721RD
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right?少一层注入,应该不用额外的掩膜吧?工艺专家速来,多谢
应该不用吧,多一层ntn,这层本来就有的。
没有额外的mask,怎么区分native mos和普通mos
那个区分native和普通的层在别的地方是必须的
所以native不需要额外增加mask
那不用native岂不是还白白多了一张版....
不需要额外的光刻和注入,但是否需要额外做一张mask取决于工艺。有些要有些不要。一些最简单的cmos工艺不会做pwell ,只会做nwell mask。光刻pwell用nwell的mask取反即可,就是除了nwell其他区域普注pwell。这样的工艺要做native就不能复用nwell mask,需要一张pwell来挡掉pwell注入,确定native区域。有些工艺本身就需要pwell则不用再额外加版
有了定义native的mask,然后再问还需不需要额外的层?
好吧,这问题没看懂。