请问什么地方可以扫描最小线宽5微米的掩模版，扫描之后变成数据
时间：12-12
整理：3721RD
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请问一下各位专家，什么地方可以扫描最小线宽5微米的掩模版，扫描之后变成数据文件？先谢了！
那种用于芯片制造的电子显微镜可以用不，精度肯定够了
找做反向的呗
5um光学显微镜就可以。需要自动步进载台和拼图软件。
用光学显微镜显示到电脑屏幕上，再自己用拼图软件处理吗？万一图形太复杂，拼图软件也能处理吗？