有用过High Linearity MIM的么？
时间：12-12
整理：3721RD
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看fab的文档里面比以前多出来这么一个器件
还有一个SiCr thin film resistor
这俩器件有啥好处？
还有一个SiCr thin film resistor
这俩器件有啥好处？
thin film resistor应该是精度高吧
MIM电容的有high linearity这一说吗？这个没怎么关注过
精度高是啥意思？匹配好？还是随工艺变化小？
poly res 1000ppm/C左右，thin film res 50ppm/C左右
这个thin film增加多少层mask?
直觉上是thin film一层，contact可能是可以和其他原有的mask共用。我没关注过mask，但是有thin film res的工艺肯定贵不少。
MIM天生linearity就好
thin film需要额外mask