流片的时候PAD附近能加金属的dummy吗?
时间:12-12
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会不会加了金属dummy之后,bonding的时候看不清PAD呀?
加啥都没事,除非加PAD 开窗 。没关系。都被盖住了。
哦,啥叫加PAD开窗?
我用的是TSMC 65nm工艺,在PAD周围加了AP层的dummy,看过去密密麻麻的,比较担心bonding的时候显微镜下看不清,但不加的话又要报density的问题。。
除了PAD-OPEN之外,芯片其他所有地方都加了钝化层看不到的
是不是只要lvs过,drc,erc 没报错就行?
density要过
density 好像是整个chip 要放的平均点?
不能有的地方密,有的地方稀?
是的啊
钝化层也是透明的啊,但是打线的时候不是靠识别图像吧,也是靠坐标定位的。
可以 没有问题
TSMC 65nm AP层的density是full chip检查的,而且只要10%,应该不需要加这么多吧?
