22nm指的是场效应管里哪个结构的长度？
时间：12-12
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求指教，稍微详细点。
多少多少纳米工艺一般是指沟道宽度或光刻机所能分辨的最小宽度
我觉得也是沟道长度，
多年不摸模拟，只记得那个宽比长长，还长不少：（
我记得原来老工艺说的是沟道长度啥的
深亚微米变成最小线间距
印象而已，并不确定。。。