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普通的CMOS芯片可以加热到550度 吗?

时间:12-12 整理:3721RD 点击:
请问一个问题,用0.8um制作的芯片,
Al焊盘,在封装 的 时候由于工艺需要把芯片加热到550度
时间要几个小时,请问这样的工艺有没有什么潜在的问题?
谢谢

肯定不行,如果是wafer,至少400度以下,至于具体是多少,要看何种wafer。

相当于一次post annealing吧,可以搜一下相关的效应
.204

不行,550度的时候芯片里的铝线已经融化了
在半导体工厂,铝线以后的工艺步骤最高不能超过450度,一般都在410度以下。

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