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Re: 弱问:65nm工艺,为啥管子L越小VTH越大呢?

时间:12-11 整理:3721RD 点击:
工艺补偿造成的。。如果不补偿,L小,vth roll off会很快。然后做工艺补偿,使得vth 随L更平些,甚至稍微有点变大。考虑DIBL效应,drain电压越小,这个变大的峰值会更大。drain电压加大,这个peaking峰变小,vth更平些
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google reverse short channel effect

zan
简单的说就是在沟道靠近源漏端进行高掺杂,从而抬高阈值电压,
但是该技术沟道中央部分掺杂浓度相对低,所以L增大时反而使阈值电压下降
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