求教 mems领域的国际重要会议和期刊

一门课程不布置作业要查找mems领域的国际重要会议和期刊
我查了很长时间，除了每年有一个mems展会，一个叫Journal of Micromechanics and Microengineering的期刊外，再就不太了解了，谁有这方面的资料或者网站什么的麻烦帮帮忙。谢谢

最好的期刊应该是3个：
IEEE Journal of MEMS
Sensor and actuators
还有你说的JMM
此外还有些分支，例如SPIE或者也会有一些。