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生产芯片时,die的大小也受限?

时间:12-11 整理:3721RD 点击:
在书上看到:“Increases in die size are less predictable and slower, ranging
from 10% to 20% per year."
这个受那方面的限制呢?
谢谢

废品率高
封装也有限制
光刻窗口大小固定,如果die比较大,芯片就少

光刻的工艺窗口现在一般大小都是26*8的,一般最大的die的面积是26*33的
要增加窗口宽度,对光学系统设计加工的难度增加很大
扫描长度主要由供电台决定的,供电台的在一定范围内的稳定匀速运行也是问题,芯片不能想加工多大就多大的
不过如果die的面积变大,光刻速率就会提高,成本也会下降
所以die的面积还是不断变大,晶圆面积也不断变大

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