ST掀起MEMS消费电子应用新浪潮

意法半导体的MEMS压力传感器还是另一项创新应用的核心技术：能够24小时检测和观察眼压变化的智能隐形眼镜。作为意法半导体与Sensimed的合作开发成果，这个创新的辅助诊断工具有助于专家提前发现青光眼，通过同步治疗方法与病患的内部生物钟能够使治疗效果最大化。

MEMS制造技术

2006年，意法半导体在意大利Agrate地区建立了一条MEMS器件专用200mm (8英寸)晶圆生产线，成为世界首个拥有MEMS专用生产线的大型半导体公司。这一举动大幅降低了产品的单位成本，并加快了现有应用领域扩大和新市场开发。

意法半导体在其位于马尔他Kirkop的最先进的后工序制造厂进行MEMS器件的封装测试，该工厂日产能超过100万颗MEMS芯片。整合一个微加工传感器和一个逻辑裸片的复杂器件需要严格且复杂的封装解决方案，以降低MEMS芯片受机械振动和环境因素的影响。

在前工序制造技术和工艺方面，意法半导体发现并解决了在各种应用领域大规模推广高效益的MEMS器件的关键问题。为了加快产品上市时间，实现规模经济效益，核心技术的标准化是极其重要的。意法半导体开发出了微致动器和加速计芯片厚外延层（ThELMA）工艺，这个0.8微米表面微加工技术可整合薄厚不一的多晶硅层，用于实现MEMS器件的结构和互连线。

意法半导体的VENSENS工艺(VENice process for SENSors)结合 ThELMA工艺，可以在一个单晶硅芯片内整合一个空腔，制造一个尺寸和性能优异的压力传感器，使芯片变得更薄、更小，热稳定性和可靠性更高。

MEMS向内置多传感器的智能器件发展

体内体外的MEMS前沿应用