北方微电子等离子刻蚀系统中标两项目

近日，北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司佳音频传，继高密度等离子刻蚀机中标国家集成电路先导工艺研发项目后，ELEDE 330高密度等离子ICP刻蚀机中标上海蓝光LED项目。ELEDE 330由北方微电子自主研制生产，是我国首台直接面向LED大生产线的ICP刻蚀系统，实现了北方微电子半导体刻蚀技术在LED领域的成功扩展。此次中标，标志着北方微电子LED刻蚀设备获得市场主流生产线的充分肯定，使我国高端LED设备的国产化水平得到了新的提升。

　　上海蓝光科技有限公司是中央企业彩虹集团控股的全国首家从事氮化镓基LED外延片及芯片产业化生产的企业，是国家"863"计划光电子领域成果转化基地，是国家发展与改革委员会确定的新材料专项产业化示范工程项目。