微波MEMS滤波器的研究进展

示），可以有效减小微波传输线的损耗。

图8、共面波导悬空结构，刻蚀掉中央导体两边的槽线介质形成悬空结构

3、结束语

将MEMS技术应用于单片微波集成电路，在微波滤波器集成化的同时，使微波系统能够具有可重构性，这是实现现代通信和微波单片系统的重要手段。然而，MEMS滤波器依赖于MEMS技术的发展，MEMS技术的发展时间还非常短，实现更加成熟、低成本、高可靠性的MEMS器件是进一步提高MEMS滤波器性能的关键，这也是MEMS滤波器今后的主要发展方向。

4、致谢

文章得到中国科学院百人计划和德国洪堡基金会资助。

作者：
李文明^1,2、李骁骅^1,2、杨月寒^1,2、刘海文²、杨谟华¹、于奇¹
（1.电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室，成都610054）
（2.中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室，成都610209）