RF MEMS关键技术与器件

前景是显而易见的，无线通信装置和汽车防撞雷达因MEMS技术的介入在性价比上发生了质的跃迁，MEMS技术的潜能也将产生巨大的冲击力。作为RFMEMS器件潜在的应用前景包括：①个人通讯：移动电话、PDA、便携式计算机的数据交换；②车载、机载、船载收发机和卫星通讯终端、GPS接收机等；③信息化作战指挥、战场通信、微型化卫星通信系统、相控阵雷达等。

当前，基于MEMS的RF开关、可变电容、电感、滤波器、移相器等元器件已取得了实质性进展。据In—Stat公司预测，RFMEMS市场将从2001年的大约100万美元增长~iJ2006年的3．5亿美元，作为MEMS中的热门项目，关于RF开关、RF移相器、RF天线等有大量的文献报道，某些公司已有样品展示，未来十年RFMEMS将迎来产业化的机遇。

作者：夏牟，郝达兵

参考文献：

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