详解村田制作所的MEMS传感器

4右），纺锤4来获得情报（图4左）。通过演算这4个信号，去除所有方向的平行加速度、旋转加速度，能获得纯粹的科里奥利力。

陀螺仪

图4：陀螺仪的结构图

图5：陀螺仪特性图

组合传感器

特别在汽车市场，为了更高精度的控制，将陀螺仪信号和加速度传感器的信号组合起来的需求有很多。以此为背景，诸如防侧滑制动系统（ESC），防抱死制动系统（ABS）、轮胎压力检测系统（TPMS）此类的安全功能以发达国家为中心新车装载法制化正在被推进，电动驻车制动器（EPB）、坡道起步辅助系统（HAS）这样的新功能也陆续活跃起来。村田制作所将这两个传感器组合在一个传感器中，为了应对未来的新需求，村田将继续扩大产品的阵容。

组合陀螺仪传感器

图6：组合陀螺仪传感器结构图

结语

村田制作所的MEMS传感器以高精度、高可靠性为必要用途进行设计和开发，这个想法不仅体现在本文介绍的制作过程和MEMS的设计中，还彻底贯彻于ASIC设计及包装设计中。其结果是，可以充分应对车、轮船、产业用设备和医疗用途等的严格要求。

MEMS今后可能将被适用于更广泛用途的高科技技术。村田制作所将MEMS作为将来领先技术的一种，持续向市场提供最高端的MEMS商品，不断强化开发体制和对客户的支持。