关于salicide Poly resistor

有没有前辈有详细介绍 Salicide Poly resistor 的文章
看到的都是 Salicide 工艺用在mos上来降低源漏电阻的应用 有没有直接用在多晶硅电阻上的方式?
请各位前辈帮忙，谢谢大家。

有的，low value poly resistor
你能想到的，即有机会去实现！

谢谢前辈 有没有相关资料呢