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how metal 1 layer is isolated from the poly silicon layer

时间:10-02 整理:3721RD 点击:
做cmos inverter layout时。有一问是这样 Draw a cross section of your design and explain how metal 1 layer is isolated from the poly silicon layer.
望前辈们指点

help,自救一下

问你metal1如何和poly隔开,两个中间有fox吧,通过contact连接

metal1和poly通过contact连接,metal1和poly通过oxide进行隔离。

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