那位大侠能给解释一下 P channel salicide process
时间：10-02
整理：3721RD
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看设计资料的时候 文中提到 P channel salicide process
不明白，请大侠给解释一下，
ths
不明白，请大侠给解释一下，
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给个工艺流程
是不是指P＋ poly salicide process?
可能指poly用P＋掺杂，同时Salicide 来降低poly的电阻！Salicide 后poly的值由几十欧降到几欧/方块！
对 就是楼上说得，一般.35以下在做完p+n+注入后都会再做一个sab层，就是为了降低poly及S D区的电阻