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为什么有些工艺要提供两种poly?

时间:10-02 整理:3721RD 点击:
请教各位, 为什么有的工艺会提供两种poly,这两种poly有什么不同吗?
谢了。

是两层poly吧

呵呵,比如说2P4M工艺,就可以做PIP电容

一般做电容和电阻

哦,原来是这样啊,谢了。

我觉得应该是non-salicide & salicide
这两种poly吧

salicide应该不是指poly

楼上和楼上的楼上说的“salicide”是什么意思啊?不太清楚啊?

wwwwwwwwwwwwwwwww

我记得问过我们老大,salicide是一层次吧,可以调整poly电阻的值,好像主要是为了降低poly电阻值,呵呵

salicide:是指self-aligned silicide,即在栅、源漏的电极上都镀上金属硅化物,降低其电阻
大家还能看见有silicide的工艺,其实这就是金属硅化物,与salicide不同之处就在于silicide一般只在栅上做金属硅化物,而salicide在源漏也做,所以叫自对准呢。
以前对比工艺的笔记,不知道对不对

salicide:Self Aligned Silicide 自对准silicide 减小栅 源 漏的电阻
silicide:减小源 漏电阻

哦,领教了。
但是我又听说有policide这么一样东西,是不是salicide 做在栅上就叫做policide 呢?

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