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这个结构会因为天线效应而击穿吗?

时间:10-02 整理:3721RD 点击:

一般说天线效应击穿好像都是针对MOS管的栅极,想问一下下面的二极管和MOS有源区会击穿吗
I/O端接的金属2铝面积非常大(大概10000um^2,工艺是2层金属),芯片加工时或使用时会因为金属积累的电荷而击穿失效吗?小弟多谢~



还有,对于接到Gate上的大面积metal,将metal中间断开再用poly电阻做跳线可以消除天线效应吗,如图:


个人认为不会,累计的电荷会被你的diode释放了。run一次drc的antenna check,要不报错就没事

多谢~
还有对于接到MOS栅极的情况,用ploy电阻做跳线(相当于中间接个电阻)可以消除天线效应吗?

跳到poly不能消除天线效应,反而跳到最高层可以。

谢谢!目测接到gate的天线比率非常大,但是metal-2已经是顶层metal了

解决天线效应把金属走线跳到最顶层再下来(前提是在这个信号线上只有这一块顶层金属),或者在走线上加一个反偏的diode

谢谢谢谢!
我又有一个新问题,如果我对芯片做FIB,剖片后这个连到gate上的大面积metal暴露在空气中,会不会积累空气中的静电导致gate击穿?(metal上接了ESD)

我觉得metal上有esd就应该不会有esd的问题了。antenna effect 更多的是在加工过程中dry etching积累电荷对gate的影响。

谢谢,再次感谢

写的太浅显,啥都说了,啥都没说



求指教~
什么地方没说清楚?
失效问题我刚接触,很多还不懂

这样做不是不行,要视情况而定。如果这个poly电阻放在靠近MOS管的Gate端,长度为L2,这样将连接到Gate的大面积的metal分成2段(L1+L3,L1接MOS管poly)。如果L2>>L1/L3,或者L2长度与L1、L3相当的话,这样靠近MOS管的metal长度L1就很短,metal上面积累的电荷就很少,就不会将gate oxide层击穿,天线效应也就没有了。如果L2<<L1/L3,这样靠近MOS管的metal长度L1就很大,metal上面积累的电荷就很多,就会将gate oxide层击穿,天线效应就没有消除。

学习了。

学习。

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